Die Arbeitsschwerpunkte in der Abteilung Plasmatechnologie sind die
Erzeugung und Diagnostik von großflächigen und großvolumigen
Mikrowellen-erzeugten Niederdruck- und Atmosphärendruck Plasmen. Die am IPF
entwickelten linear ausgedehnten Plasmaquellen eignen sich besonders für
Beschichtungen und Behandlungen bei verschiedenen industriellen Anwendungen.
Vor allem in Photovoltaik-Systemen und in der Mikroelektronik sind die
Quellen zur Herstellung von Schutz- und Passivierungsschichten sowie als
elektrische Isolationsbarriere im Einsatz. Durch geeignete plasmagestützte
Verfahren zur Behandlung von Kunststoffen wird die Diffusion von Teilchen
stark reduziert. Dies kann in der Verpackungsindustrie, bei
Kunststoffbehältern und bei Membranen von Brennstoffzellen angewandt
werden.
Weitere langjährige Erfahrungen liegen bei der Diagnostik von Plasmen mit
optischer Emissionsspektroskopie und Langmuirsonden vor. Hierfür stehen eine
Reihe von Spektrometern vom UV bis VIS mit unterschiedlichen Auflösungen zur
Verfügung. Ziel ist es, die reaktiven Teilchen mit möglichst hoher räumlicher
und, wenn notwendig, auch mit zeitlicher Auflösung zu analysieren. Hieraus
können unter anderem die fundamentalen Plasmaparameter, wie Gastemperatur
Elektronendichte und -temperatur bestimmt werden.
Kontakt für Diplom- und Masterarbeiten: M. Walker, A. Schulz
